WebFOUP（キャリア）の搬送時の振動や衝撃により箱内のウェーハが前後、左右、上下に容易に動かないように保持する目的で、FOUPの正面ドアに設けられているのが一般的であ … Web半導体用語集. SMIF. 英語表記：standard mechanical interface. 製造装置間のインターフェースを統一する規格の一種。

SMIF・FOUP搬送を用いたクリーンルームにおけるウェーハ表面の汚染制御に関する研究 …

WebEfficient cleaning tool for all common types of carrier, boxes, SMIF-Pod’s and FOUP’s Main Benefits. The CleanStep Carrier Box combines multiple work steps in one tool; Up to 3 runs per hour* Setting up between cleanroom and greyroom is possible, as the tool is accessible from two sides (back and front) Processes. Cleaning and Drying Web文献「foup/fosb/smif《foup/fosbの現状と動向》各社がsemi規格外で工夫を凝らす450mmウェーハ用の開発も進行」の詳細情報です。j ... bristol it services status

300mm FOUP ミライアル株式会社

Web半導体業界（SEMI）では、半導体ウェーハや各種キャリア（FOUP、FOSB）、レチクルPod等の管理をバーコード、2次元コード、およびRFIDで実現しています。ここでは、 … Web半導体関連生産設備. 半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを … Web19 Oct 1999 · The transition to 300 mm wafers places new demands on material handling. Most significantly, wafers will be transported and stored in front opening unified pods (FOUP), and process tools will be fitted with SMIF ports to transfer wafers in and out of pods without exposure to the fab environment. A 25-wafer pod can weigh over 8 kg, and for … can you take creatine and beta alanine